摘要：本發明公開了一種應力分散MEMS塑封壓力傳感器及其制備方法。本發明的塑封壓力傳感器包括：壓力芯片、壓力緩沖層、基板、引腳框、導線和塑封體；其中，壓力芯片的上表面覆蓋一層軟膠薄膜，并且露出壓力芯片與導線的焊接點，形成壓力緩沖層；塑封體與壓力緩沖層之間具有空腔，并且在空腔與塑封體的外表面之間開設通孔，與外界連通。本發明采用軟膠薄膜的壓力緩沖層覆蓋壓力芯片的敏感結構，通過壓力緩沖層的應力分散，減緩注塑時的壓力；并且在壓力緩沖層上具有大面積的空腔，有利于壓力芯片的通風和散熱，保障壓力芯片的性能完整和正常的功能；具有制作工藝簡單先進、保證壓力芯片不受應力影響、性能完整、體積相對較小、散熱優良等特點。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京必創科技有限公司;
- 發明人周浩楠;張威;蘇衛國;李宋;陳廣忠;詹清穎;張亞婷;
- 地址100085 北京市海淀區上地七街1號匯眾2號樓710室
- 申請號CN201310727351.8
- 申請時間2013年12月25日
- 申請公布號CN103674399B
- 申請公布時間2016年04月27日
- 分類號G01L9/06(2006.01)I;G01L1/18(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I;
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