摘要：本實用新型涉及一種自動光學檢測系統，包含一影像擷取裝置、一基準標記分析單元、一影像校正單元以及一缺陷分析單元。影像擷取裝置用以擷取一待測樣品的影像?；鶞蕵擞浄治鰡卧c影像擷取裝置電性連接，用以找出影像中的基準標記。影像校正單元與基準標記分析單元電性連接，用以依據基準標記校正影像并輸出一校正影像。缺陷分析單元與影像校正單元電性，用以分析校正影像是否存在缺陷。上述自動光學檢測系統可改善因待測樣品晃動所造成的影像位移的問題。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海中晶科技有限公司;
- 發明人林君諺;吳金來;金山;
- 地址200233 上海市漕河涇開發區桂平路680號35號樓
- 申請號CN201020187070.X
- 申請時間2010年05月07日
- 申請公布號CN201673124U
- 申請公布時間2010年12月15日
- 分類號G01N21/88(2006.01)I;
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