摘要：本實用新型涉及一種用于測量角速度的全解耦電容式微機械陀螺，屬于微機電系統中的慣性傳感器技術領域。立柱固定在基片上，驅動彈性梁和檢測彈性梁圍成方框，且分別通過立柱與基片相對固定。橫向隔離梁和縱向隔離梁圍成的方框位于上述方框中。檢測質量塊位于由橫向隔離梁和縱向隔離梁圍成的方框中，其四角分別與之相連。檢測電容可動電極和驅動電容可動電極分別與檢測彈性梁和驅動彈性梁相連。檢測電容固定電極和驅動電容固定電極分別固定在基片上，且分別與檢測電容可動電極和驅動電容可動電極的位置相對。本實用新型從結構設計上消除了機械耦合帶來的測量干擾，提高了微機械陀螺的靈敏度，且不增加生產的工藝難度和加工成本，易于批量生產。
- 專利類型實用新型
- 申請人紫光股份有限公司;
- 發明人高宏;王慶;
- 地址100084 北京市海淀區清華大學紫光大廈八層
- 申請號CN200920278262.9
- 申請時間2009年12月25日
- 申請公布號CN201561983U
- 申請公布時間2010年08月25日
- 分類號G01P3/46(2006.01)I;
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