摘要:本發明采用高溫膠與一定粒徑分布的陶瓷粒子混合制備復合修飾液,對致密膜上存在的缺陷實現全范圍修飾(幾個納米-幾百微米)。其中陶瓷粒子用來修飾致密膜上的大缺陷(如大于5nm),高溫膠用來修飾致密膜上的小缺陷(如小于5nm);另外,高溫膠的使用能顯著提高修飾液的流平性能,并且起到對陶瓷粒子粘合增韌的目的,從而降低后處理溫度。采用本發明制得的復合修飾液對有缺陷的致密膜表面進行涂覆修飾,陶瓷粒子及高溫膠只填充缺陷部分,并不吸附在致密膜表面。該方法能實現接近100%的缺陷填充率,具有工藝簡單、重復性好的優點,適合規?;闹旅苣と毕萏钛a。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院大連化學物理研究所;
- 發明人鄭磊;李慧;徐恒泳;
- 地址116023 遼寧省大連市中山路457號
- 申請號CN201510346454.9
- 申請時間2015年06月19日
- 申請公布號CN106310956A
- 申請公布時間2017年01月11日
- 分類號B01D67/00(2006.01)I;