摘要：本發明提供了一種汽輪機轉子輪槽量規表面耐磨涂層的制備方法，包括：步驟1，提供一無涂層的汽輪機轉子輪槽量規和一真空爐，真空爐中設置有Ti靶材；步驟2，將無涂層的汽輪機轉子輪槽量規置于真空爐內，對無涂層的汽輪機轉子輪槽量規的表面進行加靶活化；步驟3，對表面已完成活化的汽輪機轉子輪槽量規進行TiN涂層沉積：調節真空爐爐腔溫度為180～200℃，向真空爐腔中通入N2氣，N2氣體流量為150～180sccm，對Ti靶材通電作為蒸發源，通電電流為120～140A，在汽輪機轉子輪槽量規上加偏壓為150～180V，持續15～20min后完成TiN涂層沉積并進入下一步；步驟4，在TiN涂層表面進行DLC涂層沉積。
- 專利類型發明專利
- 申請人上海應用技術學院;上海應術電站配件有限公司;
- 發明人張東民;張而耕;姚松駿;惲龐杰;劉銘心;盛育東;馮全華;曹啟偉;陳厚良;
- 地址200235 上海市徐匯區漕寶路120號
- 申請號CN201610239273.0
- 申請時間2016年04月18日
- 申請公布號CN105671552A
- 申請公布時間2016年06月15日
- 分類號C23C28/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;
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