摘要：本發明公開了一種基于Fano諧振的超高精度波長解析器。波導分束器與多個Fano濾波器的輸入端連接，Fano濾波器的輸出端經各自的Fano濾波器連接到信號處理模塊，待測光由光波導經過波導分束器分成多束光，多束光分別進入到Fano濾波器濾波后輸出信號到Ge-Si光電探測器；Fano濾波器中設有TiN熱電極，通過加熱TiN熱電極調節Fano濾波器的輸出產生Fano濾波譜線，形成“X”形頻譜。本發明實現在該“X”頻譜范圍內對波長超高精度的檢測，其器件制作采用普通的SOI硅片，具有良好的CMOS工藝兼容性，可大規模集成。
- 專利類型發明專利
- 申請人浙江大學;
- 發明人王根成;戴庭舸;楊梅;李宇波;王曰海;楊建義;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區浙大路38號
- 申請號CN201610072445.X
- 申請時間2016年02月02日
- 申請公布號CN105651400A
- 申請公布時間2016年06月08日
- 分類號G01J9/02(2006.01)I;
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