摘要:混合電機驅動的自動控制顯微鏡載物平臺,涉及用于放置被觀測物的載物平臺。方案一:混合電機驅動的自動控制顯微鏡載物平臺,包括載物臺、壓電電機、永磁同步直線電機、反饋裝置和控制電路;方案二:混合電機驅動的自動控制顯微鏡載物平臺,包括載物臺、壓電電機、永磁同步直線電機、反饋裝置和控制電路。通過改變驅動載物臺上驅動電機,用永磁同步直線電機和壓電電機代替步進電機,分別驅動平臺進行X軸和Y軸運動,配合導軌和編碼器位置檢測實現平臺的高精度控制。
- 專利類型發明專利
- 申請人海德星科技(廈門)有限公司;
- 發明人胡亦寧;張家政;黃種團;
- 地址361009 福建省廈門市湖里區廈門火炬高新區創業園偉業樓北樓N207室
- 申請號CN201510922680.7
- 申請時間2015年12月11日
- 申請公布號CN105353502A
- 申請公布時間2016年02月24日
- 分類號G02B21/34(2006.01)I;