摘要：本發明公開了一種高致密度氧化鋅基靶材及其制備方法。該方法依次包括如下步驟：混料步驟：向原料中加入粘結劑和水，混合均勻，得到均勻漿料，然后將所述漿料進行干燥并制粉，得到粒度分布均勻的干燥粉末顆粒；脫粘結劑及除氣步驟：將所述干燥粉末顆粒裝入對應尺寸的包套內，進行脫粘結劑及除氣處理；熱等靜壓步驟：將脫粘結劑及除氣完畢的包套封焊后進行熱等靜壓處理；退火步驟：對去除包套后的錠坯進行退火處理。采用該方法得到的氧化鋅基靶材的相對密度不低于理論密度的99%，密度均勻，平均晶粒尺寸不大于30μm，無氣孔和疏松。
- 專利類型發明專利
- 申請人安泰科技股份有限公司;
- 發明人張鳳戈;高明;唐培新;張路長;郝權;繆磊;王江廷;姜海;姚偉;
- 地址100081 北京市海淀區學院南路76號
- 申請號CN201310412822.6
- 申請時間2013年09月11日
- 申請公布號CN104416160A
- 申請公布時間2015年03月18日
- 分類號B22F3/14(2006.01)I;
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