摘要：本發明公開了一種光柵組微位移傳感器及其測量位移的方法，它包括光源、分束器、第一光柵層、第二光柵層、增反層、第一紅外光電探測器、第二紅外光電探測器、第一固定底座、第二固定底座、回形懸臂梁、上層電容平板、下層電容平板、依據光電信號計算位移的信號處理模塊和向電容平板輸送電流的電流驅動模塊。本發明依據伍德異?，F象，利用兩層光柵位移時，反射光產生脈沖式變化的現象，通過在兩光柵層制作多組光柵，每組光柵中上下兩層光柵初始相對位置的不同設定，使得每組光柵產生脈沖式變化對應的上下兩層光柵的微位移量不同，從而對位移信號細分，測量位移。本發明實現了傳感系統的小型化，精度高，在航空、軍事領域都有很廣泛的應用前景。
- 專利類型發明專利
- 申請人浙江大學;
- 發明人王晨;白劍;楊愷倫;汪凱巍;
- 地址310058 浙江省杭州市西湖區余杭塘路866號
- 申請號CN201410637041.1
- 申請時間2014年11月13日
- 申請公布號CN104406525B
- 申請公布時間2017年02月15日
- 分類號G01B11/02(2006.01)I;
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