摘要：本發明公開了一種大口徑球面光學元件表面疵病檢測系統及其方法。本發明包括XY二維導軌、二維旋轉系統、大口徑球面光學元件、環形照明光源、Z向導軌、顯微鏡、CCD1、光學自準直定中儀、CCD2；大口徑球面光學元件固定于二維旋轉系統上，二維旋轉系統安裝于XY二維導軌上，實現大口徑球面光學元件的多軸聯動；CCD1連接到顯微鏡上并固定于環形照明光源上，環形照明光源及光學自準直定中儀固定于Z向導軌上，并隨Z向導軌沿Z軸方向平動，CCD2連接到光學自準直定中儀上。本發明實現了大口徑球面元件表面疵病的子孔徑采樣過程，對全口徑疵病灰度圖像進行數字化特征提取后，從而實現疵病的自動化定量檢測。
- 專利類型發明專利
- 申請人浙江大學;
- 發明人楊甬英;劉東;曹頻;李陽;李璐;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區浙大路38號
- 申請號CN201410479580.7
- 申請時間2014年09月18日
- 申請公布號CN104215646B
- 申請公布時間2016年06月29日
- 分類號G01N21/958(2006.01)I;
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