摘要:本發明公開了一種間隙物的散布方法及裝置,其方法為:將噴出前在管道內帶上同種電荷的Spacer,按照預設速度依次從噴口噴出。在當前噴出的間隙物,即當前Spacer從噴出口噴出時,利用偏轉線圈構成的均勻電場的強度改變當前Spacer的運動軌跡,使當前Spacer在電場力的作用下產生偏轉后散布于接受基板上。通過上述本發明所公開的該種方案不僅能夠消除Spacer散布時是無規律的散布所帶來的問題,而且通過使用電場控制Spacer進行有序散布,實現了減少開發時間、降低制作成本和提高生產效率的目的。
- 專利類型發明專利
- 申請人上海中航光電子有限公司;
- 發明人葉舟;
- 地址201108 上海市閔行區華寧路3388號
- 申請號CN201110436805.7
- 申請時間2011年12月22日
- 申請公布號CN103176312B
- 申請公布時間2015年11月25日
- 分類號G02F1/1339(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;