摘要：本發明公開了一種光聲光譜法檢測硫酰氟氣體殘留濃度的方法。采用非干涉熱輻射源，通過斬波器切光和濾光片濾光，得到強度可調制的單色光；可調制光譜照射在密封的光聲池內的微量硫酰氟氣體上，硫酰氟氣體分子吸收電磁輻射后受激，躍遷到更高一層的激發態，并通過伸縮振動和變形振動回到基態；震動引起氣體溫度的升高，并釋放熱能，釋放的熱能使硫酰氟分子按光的調制頻率產生周期性加熱，從而產生周期性壓力波動；壓力波動采用振動敏感度小于<1dB的硅微微音器探測，并通過轉換電路放大信號得到光聲信號，光聲信號由外圍電路轉換成電信號，再由外圍電路內的鎖相放大器放大電信號后送入數據采集電路，最后計算完成硫酰氟殘留濃度。
- 專利類型發明專利
- 申請人江蘇舒茨測控設備有限公司;
- 發明人陳默;安德里亞斯·何斯特;李茂;
- 地址215513 江蘇省蘇州市常熟經濟技術開發區四海路11號科創園5號樓507
- 申請號CN201310041226.1
- 申請時間2013年02月03日
- 申請公布號CN103163087A
- 申請公布時間2013年06月19日
- 分類號G01N21/27(2006.01)I;
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