摘要:本發明公開了一種光柵細分方法,包括:S1、一種光柵細分的方法,其特征在于,包括:S1.運用信號差分放大原理將光柵尺輸入的四路相位信號整合成兩路相位信號;S2.判斷所述的兩路相位是否相差呈形成標準圓的90度;S3.根據光儀器的精度,將所述的標準圓分成若干等份;S4.根據所述的等份確定采樣數據對應于所述標準圓上的位置。本發明還公開了一種光柵細分方法裝置和系統。實施本發明的光柵細分方法和裝置大大改善了系統定位精度,使光柵在工業定位控制上面的定位精度更為準確、連續。
- 專利類型發明專利
- 申請人深圳市菲恩測控科技有限公司;
- 發明人汪紅兵;趙明;孫維實;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區桃源街道麗山路大學城創業園310室
- 申請號CN201110387477.6
- 申請時間2011年11月29日
- 申請公布號CN102519503B
- 申請公布時間2016年03月02日
- 分類號G01D5/38(2006.01)I;