摘要:本發明公開了一種晶體夾持工裝及其晶體加熱爐,用于裝夾晶體于加熱爐中,所述晶體夾持工裝包括:支架,包括多個子支架,所述每個子支架的內側面與所述晶體的至少一個側面相適配;所述多個子支架按環狀搭接成所述支架,所述支架內側面形成空腔;所述空腔與所述晶體的外形相適配;鎖緊裝置,緊固連接于所述支架的兩頭端,將所述多個子支架緊密組合。借此,本發明實現了晶體夾持工裝在夾持晶體時,晶體的四個側面與晶體夾持工裝的四個內側面緊密接觸,使晶體受熱均勻,提高晶體加熱爐工作可靠性。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京國科世紀激光技術有限公司;
- 發明人樊仲維;毛柘;
- 地址100192 北京市海淀區西小口路66號東升科技園北領地C區7號樓二層
- 申請號CN201010262452.9
- 申請時間2010年08月25日
- 申請公布號CN102373510A
- 申請公布時間2012年03月14日
- 分類號C30B35/00(2006.01)I;