摘要：一種熱解氮化硼板材的制備方法及該方法所用的氣相沉積爐，屬于特種陶瓷材料制備技術領域。該方法采用具有進氣機構并且在爐內設置有旋轉的模具的氣相沉積爐，原料氣體為N2、NH3和BCl3的混合氣體，其中：N2、NH3和BCl3氣體的mol比為30-10∶10-1∶8-0.5，氣相沉積爐的爐溫為1700～2000℃，保溫時間為14-26h，所述的旋轉模具在所述的氣相沉積爐內呈傾斜設置。優點：由于將旋轉的模具在氣沉積爐內呈斜設置，從而能使原料氣體沿傾斜角度向上偏流，在流動過程中將溝槽填平，使得到的熱解氮化硼板材表面平整，有利于顯著減小殘余應力和提高合格率；提供的沉積爐結構簡單，能保障熱解氮化硼板材的所述技術效果的全面體現。
- 專利類型發明專利
- 申請人蘇州明林光電科技有限公司;
- 發明人趙林;趙鳳鳴;
- 地址215513 江蘇省蘇州市常熟市常熟經濟開發區沿江工業區馬橋路6號馬橋工業坊22棟
- 申請號CN201110323008.8
- 申請時間2011年10月21日
- 申請公布號CN102330068B
- 申請公布時間2012年10月10日
- 分類號C23C16/34(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
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