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無掩膜光刻機助力可穿戴柔性微流控芯片研發,實現汗液實時監測!
論文標題:WearableMicrofluidicSweatChipforDetectionofSweatGlucoseandpHinLong-DistanceRunningExercise發表期刊:Biosensors(IF5.4)DOI:https://doi.org/10.3390/bios...
2023-08-01
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4383
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[方案]
高教
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復旦大學包文中課題組又發一篇Nature子刊,小型臺式無掩膜光刻機助力晶圓二維半導體的集成電路工藝取得重要進展!
期刊:NaturecommunicationIF14.92文章DOI:https://doi.org/10.1038/s41467-021-26230-x【引言】石墨烯的發現為人類打開了二維材料的大門,經歷十多年的研究,二維材料表現...
2022-08-04
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1413
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[技術]
高教
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“微蓮花,微祝?!眧 無掩膜激光直寫光刻儀3D灰度曝光應用
近年來,實現微納尺度下的3D灰度結構在包括微機電(MEMS)、微納光學及微流控研究領域內備受關注,良好的線性側壁灰度結構可以很大程度上提高維納器件的靜電力學特性,信號...
2020-07-06
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2231
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[方案]
高教
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“微”祝福|小型臺式無掩膜光刻落戶深圳大學為您獻上微加工的圣誕祝福
由英國皇家科學院院士、劍橋大學卡文迪許實驗室RussellCowburn教授親自設計并研發的小型臺式無掩膜激光直寫儀(MicroWriterML3,DurhamMagnetoOptics,Ltd.)于近日在深圳大學...
2019-12-25
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[企業]
高教
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成果速遞|小型無掩膜光刻直寫系統(MicroWriter)在復旦大學包文中教授課題組的新研究應用
隨著電子信息產業的高速發展,集成電路的需求出現了井噴式的增長。使得掩膜的需求急劇增加,目前制作掩膜的主要技術是電子束直寫,但該制作效率非常低下,并且成本也不容小...
2019-10-15
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[應用]
高教
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