四探針導體/半導體電阻率測量儀是電壓電流源,直流電壓表以及四探針樣品平臺三臺儀器構成,并附有張含操作軟件光盤??捎糜谛5奈锢斫逃龑嶒?,對導體/半導體薄膜樣品的電阻和電阻率行測試及研究。由于本產品為組合式構思且帶有RS232C接口輸出(可用USB轉接到電腦),因此為儀表的多用途以及靈活性提供了方便。
使用方法:
1、預熱:打開電流源和電壓表的電源開關,使儀器預熱30分鐘
2、放置被測樣品:旋動支架兩邊的旋鈕,加大四探針與平臺的接觸距離,將樣品放置于平臺上,然后再旋動支架兩邊的旋鈕,使四探針的所有針尖同樣品薄膜有良好的接觸即可。
注意事項
a)在旋動支架兩邊的旋鈕時,不要讓四探針在樣品表面滑動,以免探針的針尖滑傷薄膜。
b)在旋動支架兩邊的旋鈕時,不要旋得過緊,以免四探針的針尖嚴重刺傷樣品薄膜,只要四探針的所有針尖同樣品薄膜有良好的接觸即可。
2、聯機
將四探針的四個接線端子,分別正確地接入相應的位置,即接線板上外面的端子,對應于四探針的外面二根針,應接入電流源的電流輸出孔上,而接線板上內側的二個端子,對應于四探針的內側的二根針應接在電壓表的輸入孔上。
2、測量
使用電流源分,選擇合適的電流輸出量程,以及適當調節電流(粗調及細調),可以在電壓表上測量出樣品在不同電流下的電壓值。
注意:
a)在切換電流量程時,應將電流輸出調至近零,以免成電流對樣品的沖擊。
b)在選擇電流時,對某些樣品,的電流值對應的電壓值般不過5mV,流過樣品薄膜的電流太大,導致樣品發熱,從而影響測量。
c)在某電流值下,測量電壓時,可分別測量正反向電壓。(通過按下電流源的正向或反向按鍵來實現),再取其大小的平均值。
)調換被測樣品時,定要把電流源的電流調為零。
、保管及使用期限
1、儀器應存放在環境溫度為5—40oC,相對濕度80%以下,在空氣中不含以引起腐蝕的氣體或有害雜質。
2、在用戶遵守保管、安裝、運輸和使用規則的條件下,從廠發貨日期起12個月內,產品因質量不良而發生損壞或不能正常作時,廠應負責免費為用戶修理產品或更換零件。