三氟化氮是低毒性物質，但是它能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜，組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼，使牙齒生黃斑，骨骼成畸形。具有強氧化性。與還原劑能發生強烈反應，引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會發生劇烈反應，甚至引起燃燒。受高熱發生劇烈分解，甚至發生爆炸。
急救措施
皮膚接觸
脫去污染的衣著，用流動清水沖洗。若有灼傷，就醫治療。
眼睛接觸
立即翻開上下眼瞼，用流動清水沖洗15分鐘。就醫。
吸入
脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢，呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時，立即進行人工呼吸。就醫。
泄漏處理應急處理
撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。
