鍺烷為劇毒、可分解爆炸物質，因此對整個工藝流程設備材質的選擇和處理方面有一定的難度，是對反應系統的密閉性和尾氣的處理應該重視。要考慮減少廢水、廢氣排放量，并處理，含鍺烷的尾氣經過無害化處理，符合排放方能排放
鍺烷為無色、劇毒、可自燃、非性氣體。熱穩定性差，160 ～ 180 ℃時鍺烷緩慢氧化，大約在280 ℃就能檢測到鍺烷分解為鍺和氫，在350 ℃鍺烷幾乎全部分解成單質鍺和氫氣; 鍺烷的自催化性很強，一旦分解形成了金屬覆蓋膜，就會急劇分解，故其分解爆炸危險性很高。鍺烷一般通過化學還原法、電化學反應法、等離子合成法合成，在半導體工業上有重要的用途
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