位移臺的誤差在裝配完后，在固定的環境條件下，基本已經不變了。若要減少位移臺的誤差，必須找出影響位移臺的各項誤差來源。誤差源主要包括原理誤差、制造誤差、運行誤差。
原理誤差是由于應用的工作原理的理論不完善或采用了近似理論所造成的誤差。制造誤差是指在制造過程中位移臺中各零件產生的誤差。在設計零件時，應注意遵守基面統一原則，減少制造誤差。運行誤差是指在位移臺運行過程中由于零件的變形、零件之間的摩擦、溫度等引起的誤差。如圖(2)為位移臺中的誤差源。
圖2 位移臺的誤差源
Fig.2 Error Sources of Displacement Instrument
位移臺的定位精度誤差計算分析
以運行誤差的來源為依據、精度分析為指南。采用逐步接近法，合理分配精度。如圖(3)為位移臺結構簡化圖。
圖3 位移臺結構簡圖
Fig.3 Structure Sketch of Displacement Instrument
工作臺精度方程與不確定方程[9]為：
(1)式中第一項步進電機精度對工作臺運動精度影響;第二項為定位絲杠的影響。
精度傳遞函數分別為：
結構參數精度
