教育裝備采購網：質量流量控制器是用來對各種氣體的質量流量進行進行精密測量與控制的一種儀器，他大量用于電子工藝設備中，如擴散，氧化，外延，CVD，等離子刻蝕等，以及鍍膜設備，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等行業。
質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由流量傳感器、流量調節閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
M30系列氣體質量流量控制器
推薦產品：M30系列氣體質量流量控制器
M30系列氣體質量流量控制器廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。 這款控制器的主要特點有：流量檢測;不因為溫度和壓力的波動而失準;方便型的流量控制系統;高準確度;耐高壓(90bar);快速的響應時間;高重復精度。
M30系列氣體質量流量控制器技術參數：
流量范圍在0.005-125 SLPM之間;
響應時間 ≤2s ;精度≤1%FS;
重復性±0.25%FS;
輸出信號為0-5vdc或4-20mA;
供電電壓為15-28vdc;
溫度范圍是0-50℃;
耐壓≤90Bar;機械接口A. 1/8" Compress b. 1/4" Compress c. 3/8Compress d. 1/4" VCR e. 1/4" VCO
(謝沂楠/編輯)
