Lake Shore的CPX-VF探針臺增加了±2.5T的超導磁體，可以進行C-V、I-V、微波和電光探測，以及平面外垂直場超導磁測量。研究人員可以使用CPX-VF進行霍爾效應測量和測試磁輸運參數。CPX-VF 是Lake Shore探針臺中結合微波和磁場測量的優秀探針臺之一。
CPX-VF在直徑達51mm（2英寸）的晶圓上實現真正的90°晶圓探測。樣品可在冷卻過程中保持較高溫度，降低了樣品冷凝的可能性，這是測量有機材料的關鍵要求。
CPX-VF使用液氦或液氮進行連續流制冷（使用超導磁體時必須使用液氦），其操作溫度范圍為4.2 K到400 K，使用低溫選件可將基礎低溫擴展到2 K。
主要特征
√ 溫度范圍4.3 K~400 K
√ 可選低溫1.9 K
√ 垂直磁場±2.5 T
√ 最大2英寸（51 mm）樣品
√ 樣品可面內±5°旋轉
√ 樣品振動＜30 nm可選
√ 90°探針樣品測量
√ 霍爾效應測試選件
√ 超高真空選件
√ 可定制真空腔聯用轉移樣品，避免樣品暴露在大氣環境
主要參數及描述
磁場 | ||
磁體類型 | 超導螺線管 | |
磁場方向 | 垂直方向（垂直于樣品面） | |
磁場控制 | 電流控制 | |
磁場大小 | 最大±25 KOe(±2.5 T) | |
磁場均勻性 | 0.5% 10 mm直徑；1% 25 mm直徑 | |
探針針尖移動 | <5μm 整個磁場范圍內 | |
溫度范圍 | ||
最多配置6個探針臂 | 基礎溫度4.3 K，溫度控制范圍4.4 K ~ 400 K | |
安裝PS-LT低溫選件 | 基礎溫度1.9 K，溫度控制范圍2 K ~ 400 K | |
溫度穩定性 | 液氦 | |
基礎溫度 (無加熱控制) | ±15 mK | |
<10 K | ±50 mK | |
10 K ~ 100 K | ±20 mK | |
101 K ~ 250 K | ±15 mK | |
251 K ~ 350 K | ±15 mK | |
351 K ~ 400 K | ±50 mK | |
真空 | 以TPS-FRG分子泵為標準 | PS-HV-CPX選件 |
抽真空時間 | 30 min (<1 × 10-3Torr) | 10 min (<1 × 10-3Torr) |
室溫 | <5 × 10-4Torr | <5 × 10-6 Torr |
基礎溫度 | <1 × 10-5Torr | <5 × 10-7Torr |
最高溫度 | <5 × 10-5Torr | <5 × 10-7Torr |
循環時間 | ||
總循環 | 4 h | |
抽真空 | 0.5 h | |
探針臺冷卻 | 2 h | |
探針臺升溫 | 1.5 h | |
樣品 | ||
最大尺寸 | 51 mm(2英寸) | |
樣品背光接口 | 不可選 | |
樣品旋轉 | ±5°樣品面內旋轉 | |
樣品振動 | ＜300 nm（標準），＜30 nm（配置減震選件PS-PVIS） | |
探針配置 | ||
最大探針數 | 6 | |
探針臂溫度計 | 用于監視探針臂的溫度 | |
冷卻探針支架 | ＜20 K(樣品在基礎溫度下) | |
探針支架 | 連接磁體防輻射屏熱沉 | |
探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 | |
DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量 | |
微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz | |
光纖探針 | 可用于電光測量 | |
落針范圍 | 所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內落針 | |
