飛秒激光微納加工綜合系統-Laser Nanofactory
Femtika公司設計并生產的飛秒激光微納加工綜合系統-Laser Nanofactory是一款集增材與減材制造于一體的綜合微納加工系統。與傳統的微納3D打印設備相比，Laser Nanofactory不僅可用于光子學聚合物微納結構的加工，還可以用于石英，陶瓷，玻璃和金屬等材料從毫米到微米尺度的精確加工。設備加工速度可高達50mm/s，加工精度優于100nm，還可實現不同加工工藝間的無縫切換。得益于Femtika先進的飛秒激光技術，Laser Nanofactory在進行微納加工時所產生的熱效應小，加工出的結構邊緣銳利，因此特別適合微納結構的加工。
應用領域
? 微納光學
? 微流控
? 微納機電器件（M/NEMS）
? 納米技術
? 生物醫藥
? 通訊技術
? 傳感器件
? 材料表面改性
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Laser Nanofactory技術參數
飛秒激光 | 波長 | 1028 nm ± 5 nm和514 nm ± 5 nm |
脈沖持續時間 | <290 fs - 10 ps | |
脈沖能量 | >65 μJ | |
極限平均功率 | >4 W | |
重復率 | 60 - 1000 kHz | |
冷卻方式 | 氣冷 | |
定位平臺 | XY方向移動范圍 | 160 mm x 160 mm |
Z方向移動范圍 | 60mm | |
XYZ正交性 | 3 arc sec | |
分辨率 | 1 nm (XY), 2 nm (Z) | |
極限速度 | 350 mm/s (YX), 200 mm/s (Z) |
Laser Nanofactory制備的多光子聚合物3D結構
Laser Nanofactory選擇性刻蝕結果展示
Laser Nanofactory在樣品上進行激光燒蝕
Laser Nanofactory對器件中的不同材料采用不同加工技術（無縫切換）
用戶單位
