產品特點：
小型PVD腔室，專門用于鈣鈦礦蒸鍍
可集成于MBRAUN 手套箱(由過渡艙實現連接)
緊湊型設計
可用于50x50 mm大小的基板
可實現多源共蒸(4個蒸發源)
膜厚一致性標準偏差在+/-5%區間
經濟型方案
交貨快
有利于工藝改進和提升
應用行業：
鈣鈦礦太陽能電池
