產品特點：
集成手套箱
緊湊型設計
經濟型解決方案
配置簡單
多源共蒸
一致性標準偏差在+/-3 %區間 (幾何式設計可縮小至+/-1 %)
兩種型號可選: PROvap 4G 和 PROvap 5G
多可實現8源共蒸
PROvap 4G可用于大小100x100 mm或直徑100 mm (4英寸)的基板
PROvap 5G可用于大小150x150 mm 或直徑150 mm (6英寸)的基板
應用行業：
OLEDs/有機光電子
光伏太陽能
電池行業
