儀器簡介：
勻膠機（spin coater）有許多名稱：甩膠機、涂膠機、涂層機、旋轉涂膠機。其工作原理是高速旋轉基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同, 也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃，鈣鈦礦（OPV）太陽能電池, FPD（OLED,LCD,Micro LED)......可在企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
主要規格參數：
- 樣品尺寸： ~ 6"（4",8",10",12" ,16"，200*200mm,370*470mm....更多尺寸可定制）
- 旋轉速度 : 100~8,000rpm
- 速度精度 : < ±0.1%(8,000rpm)
- 速度遞增：1rpm
- 存儲（recipes）: 1 file
- 甩涂步進（max）: 2 step (1file)
- 加速度：1~999sec
- Last-Deceleration： *自然減速 方式
- 顯示：數字LED
- 運行時間：1~999sec
- Drain（tubing-type）:Yes
- 自旋真空外殼系統：Yes
- 防震系統：Yes
- 真空泵：無油泵
- 重量：35Kg
- 尺寸：283*400*470mm
- 其他事項跟根據客戶需求進行協商定制.
-(Option)
1.壓力傳感器&顯示
2. 蓋傳感器-孔和蓋子系統
