產品背景:
當今的高性能電子束相關的設備對變化的環境磁場非常敏感,比如離子束3D打印設備、電子顯微鏡、半導體光刻機、等離子切割機。當環境磁場發生變化時,電鏡中的電子束會偏轉,從而導致打印歪曲偏離、電子顯微鏡分辨率下降和圖像失真。HSR2iX系列磁場消除系統通過動態創建幾乎相等且方向相反的磁場來穩定電子束相關的設備周圍的環境磁場,改善各種電子束、離子束設備周圍惡劣的磁場環境,保障設備使用的磁場環境要求。
產品介紹:
HSR2iX系列磁場消除系統由磁傳感器感知單元、磁場發生單元、磁場控制單元、顯控單元等構成。綜合了低噪聲磁敏感技術、消磁線圈優化設計技術、磁場自動控制技術,實現了對寬頻帶雜散磁場的自動跟蹤補償,達到穩定磁場的目的。根據具體用途,HSR2iX系列磁場消除系統具有三種不同型號:HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。(特殊情況可定制)
工作原理:
磁場消除系統主要由磁傳感器感知單元、磁場發生單元、磁場控制單元、顯控單元等構成等幾部分組成。
通過三分量磁場傳感器實現雜散磁場的感知,并將感知到的信號送入智能磁場控制單元;智能磁場控制單元實時產生一個電流信號,該電流通過磁場產生單元產生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場,在工作區實現了磁場的疊加從而得到穩定的磁場環境。
典型應用:
1.生命科學領域的冷凍電鏡
2.材料科學領域的掃描電鏡
3.化工領域中的原理分析用電鏡
4.半導體工藝中的缺陷分析用電鏡
5.納米制造領域的加工精度保證