產品簡介：
該款型號是一種可以分析從射頻DC~67GHz到高頻波的設備。由于射頻探針頭可以從四個方向方便的使用，因此它的優點是能夠測量不同區域的樣品。此外，它還可以與直流并聯使用。
基本配置：
- 8"真空吸盤
- 漏電流：<10fA
- 射頻40GHz~67GHz ; 2端口~4端口
- X/Y軸移動范圍：200x200mm（細調手柄，分辨率5um）
- Z軸移動范圍：10mm
- 顯微鏡：90x（+CCD可達300x），更大倍數可訂制
- CCD相機：2.1M像素+22"液晶顯示屏
- 照明裝置：可調節亮度
- 真空針座：行程13mm；分辨率：1um ；精度：0.1um
- 探針支架：θ微控制
- 真空泵：低噪音真空泵
其他選項：
- 防震桌
- 暗箱（屏蔽箱）
- 加熱臺
- 轉接頭插線板
- 熱夾頭
- ......
