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MSTECH
12000CHC
MSTECH
詳細說明
該型號為高性能型. 通過軟件可進行mapping； 12"wafer 或碎片樣品均可適用；低漏電流~50fA, 可選配加熱卡盤，高倍顯微鏡，多通道探針卡，IV,CV,RF,高頻等.
規格＆應用：
- 半自動探針臺＆全測量.
- 12英寸低噪音卡盤。
- X,Y轉臺行程300 x 300mm.
- Z轉臺：上/下移動距離 15mm.
- 高倍顯微鏡&高清CCD攝像機
- 定位器：微型定位器主體單元PB100，真空底座分辨率1um.
- 選項：暗箱,防震桌........
