（等離子）原子層沉積系統（PE）ALD

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產品熱度：加載中

品　　牌：NCD

產品型號：D100

制造廠商：NCD

適用范圍：高教

所在地區：韓國

主要應用：

-適用于半導體用薄膜（Al2O3, HfO2, ZrO2, TiO2, ZnO ……）

-CIGS太陽能電池無鎘緩沖層沉積

-晶硅太陽能電池表面鈍化層沉積

-硅基WVTR(水蒸氣透過率)的阻擋層

-Micro-OLED封裝層

-柔性襯底用阻擋層

-OLED封裝層

-柔性OLED顯示器、柔性OLED照明、量子點、鈣鈦礦LED、柔性太陽能電池等高水分阻隔膜的卷對卷（R2R)ALD工藝：

-可用于 LTPO TFT IGZO薄膜沉積

特點：

1.ALD高k介質,厚度均勻性好，保形步進覆蓋。

2.先進的工藝套件和小體積的短周期室

3.實現了ALD機構(行波法)

4.小腳印全集成工藝模塊

5.過程控制方便，供氣線路長度小。