型 號 XP-703D檢測對象氣體半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）檢測原理熱線型半導體式采樣方式自動吸引式可檢測濃度（單位：ppm）砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H20.2 0.3 0.1 0.5 1.0檢測表示蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍應答速度10秒以內
