【12英寸】XRS-SYSC-300高精度程控勻膠機旋涂儀
一. 產品應用
XRS-SYSC-300系列高精度程控旋涂儀（Spin Coater），其蕞高轉速可達10000rpm，蕞大旋轉加速度可達50000rpm/s（有負載條件下的真實加速度）。具有速度精度高、轉速穩定、的加速度、主動式速度調控、勻膠過程多段程序控制等特點?？捎糜谖㈦娮?、半導體、光電器件、新能源、生物材料、光學器件等領域的各類高納米功能涂層的制備。
二. 產品特點
1. 旋轉電機采用專為勻膠機的高速伺服電機，具有高精度、高穩定性、高可靠性。
2. 優異的旋轉加速性能，蕞大旋轉加速度可達50000rpm/s（有負載的真實加速度）。
3. 兩項安全互鎖功能：
(1)勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能，確保腔體關閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造**身傷害；
(2)真空吸片具有真空檢測功能，若發生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運行。
4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
5. 勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料，經CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。
6. 旋轉吸片臺采用德國勞士領PEEK材料，經CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程蕞多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可控制、連續可調?？蓛Υ?/span>50組工藝程序，隨時調用。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態及各項參數實時顯示，更直觀了解勻膠進程；
9. 真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制，無需手動操作。
10. 旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時間”蕞多為99s，確?；喂涛接谛D臺后再進行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”蕞多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
11. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。
三. 參數
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設備型號 參數 |
XRS-SYSC-300A |
XRS-SYSC-300B |
XRS-SYSC-300C |
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可鍍膜基片尺寸 |
Ø10～300mm |
Ø10～300mm |
Ø10～300mm |
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旋轉速度 |
10～6000rpm |
10～8000rpm |
10～10000rpm |
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轉速分辨率 |
1rpm |
1rpm |
1rpm |
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速度精度性 |
＜0.02% |
＜0.02% |
＜0.02% |
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旋涂加速度* |
0～30000rpm/s |
0～40000rpm/s |
0～50000rpm/s |
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每段加速時間 |
999.9s |
999.9s |
999.9s |
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每段旋涂時間 |
9999.9s |
9999.9s |
9999.9s |
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時間分辨率 |
0.1s |
0.1s |
0.1s |
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預吸片時間 |
99s |
99s |
99s |
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解吸片時間 |
99s |
99s |
99s |
*蕞大旋涂加速度為有負載條件下(使用≤Ø100mm基片)的真實加速度
