橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀

編號

名稱

參數

1

測量范圍

1nm-300nm

2

測量小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數范圍

0°～180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標小讀數

0.05°

7

光學中心高度

152mm

8

工作臺直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機重量

20kg