硅烷對人身的危害有哪些?
硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氫化合物。目前應用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。
被測氣體 Gas Detected | 硅烷(SiH4) | ||
檢測原理 Detection principle | 電化學原理 | ||
安裝方式 Sampling Method | 壁掛式,管道式,流通式 (與監測環境相關) | ||
量 程 Measure Range | 0-10ppm、0-20ppm、0-50ppm、0-100ppm (量程可選,未列出量程可訂制) | ||
分 辨 率 Resolution | 0.01ppm | ||
精 度 Precision | 2%FS | ||
輸出信號 Output signal | 4-20MA、0-5V、RS485,RS232,繼電器,無線數字 (可選) | ||
響應時間 Response Time | ≤10S | 恢復時間 Recovery Time | ≤10S |
重 復 性 Repeatability | ≤±1% | 線性誤差 Linearity error | ≤±1% |
零點漂移 Zero shift | ≤±1%(F.S/年) | 顯示 Display | 高亮度數碼管顯示 |
連線方式 Connection mode | G1/2陽螺紋防爆軟管 | 氣體單位 Gas unit | PPM |
工作溫度 Temperature | -40℃~70℃ | 工作濕度 Humidity | 0-95%RH |
防爆等級 Explosion-Proof | Ex dⅡCT6 | 防 護Degree of protection | IP65 |
報警方式 Alarm mode | 聲光二重報警 | 工作時間Operating time | 24小時工作 |
尺 寸 Dimensions | 180×150×90mm | 重 量 Weight | ≤1.6kg |
硅烷急救措施
不同暴露途徑之急救方法:
熱灼傷:由于硅烷泄漏引起人員灼傷時應由受過培訓的人員進行急救,并立即尋求醫療處理。
眼睛接觸:立即用水沖洗少15分鐘,水流不要太快,同時翻開眼瞼。使受難者為“O”形眼,立即尋求眼科處理。
吸入:將患者盡快移到空氣清新處。如有由受過培訓的人員進行輸氧或人工呼吸。