X-Strata960測厚儀基于25年涂鍍層測量經驗，在CMI900系列測厚儀的堅實基礎上，引進全新的設計：
技術參數
主要規格
規格描述
X射線激發和檢測
牛津儀器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦點鎢靶X射線管
高分辨封氣(Xe)正比計數器可獲取的計數靈敏度，配合二次濾光器機構實現的檢出效果
數字脈沖處理
4096通道數字多道分析器，數字光譜處理過程可獲取的信號采集(每秒計數量)，從而保證的測量統計結果
手動或自動透鏡控制
手動透鏡控制：通過手動調整DIM旋鈕控制分析聚焦距離
自動透鏡控制：激光束自動尋找DIM系統的分析聚焦距離
自由距離測定
簡化系統設置和維護
在聚焦距離范圍內僅需要一個校正
對不規則樣品更靈活的測量
在12.7mm-88.9mm的自由距離內，可準確測量樣品表面的任何一點
通過DIM旋鈕或使用自動激光聚焦功能，可快速、準確的確定聚焦距離
附帶自動透鏡功能的自動激光聚焦
獨特的、自動樣品擺放系統
激光掃描單鍵啟動
消除樣品碰擊Z軸的機會
改善DIM的聚焦過程
標準激光聚焦
標準激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上，自動尋找正確的Z軸位置，提高分析再現性，結果不受人為操作的影響
Z軸聚焦掃描單鍵啟動
改善DIM和常規固定焦距測量時的聚焦過程
微小準直器
儀器至少裝備一個客戶指定規格的準直器以化測量，并提高測量效率
備有各種規格準直器(0.015mm – 0.5mm),園形或矩形供客戶選用
多準直器程序交換系統可同時安裝4個準直器
大樣品室設計
方便超大樣品的推拉式平臺：如大面積PCB板、較長的管材樣品
大型開發式樣品室：方便于從各方向進樣和觀察樣品
三種樣品臺備選：可編程XY軸樣品臺、手動XY軸樣品臺、固定位置樣品臺
標準配置自動化Z軸：高度230mm
集成化計算機
工作站式設計：改善人機工程學、方便使用
簡化設備安裝：僅需要接入主電源線，沒有其他電纜
減少整機占用空間
USB和Ethernet接口：打印機、刻錄機、局域網和遠程在線支持功能
其他硬件特點
CCD相機擁有2x、3x或4x的變焦功能，可實現對測定樣品的高分辨、實時、彩色圖像觀測
溫度補償功能監測系統溫度，并自動校正由于溫度變化可能引起的儀器漂移，保證長期的儀器穩定性
光譜校準、單擊鼠標執行系統性能自檢和校正程序保證儀器長期的穩定性
堅實耐用的儀器設計適用于各種工業環境
一體化工作站設計實現的人機工程學
