※探針架結構如如圖4所示,它具有三維調節功能。打點器架的結構相同。 圖5、打點器結構
1、墨盒2、打點線3、頂緊螺釘4、限位螺母5、定位螺母
※顯微鏡及環形燈
本機配備體式顯微鏡,顯微鏡的變倍倍率是4~100倍,物距100mm。詳細參見顯微鏡的說明。
本機配備環形照明燈,220V 8W。
三、使用方法
1、測試準備
(1)根據待測芯片單元圖形情況選擇需要的探針架個數,將探針架安裝在固定盤上。
(2)將要測試的半導體芯片放在承片臺上??梢赞D動左手下部旋鈕使圖形對在垂直位置。
(3) 在顯微鏡下校對探針的位置,使之對準在芯片單元相應的焊點上,針尖的高度一致。同時檢查測試連線使之接好。
(4)打點器安裝在固定盤上,并對位在同一個芯片單元圖形內,插頭接在機器相應的插座上。
(5)將環形燈接頭插在相應的插口上(也可直接插在220V電源上)。
(6)將電源線插到220V電源上。
2、測試過程
(1)右手移動工作臺上的受柄,在顯微鏡下觀察探針對位到要測試的芯片單元圖形的相應焊點上。
(2)對好位置后,左手順時針旋轉左側上部的旋鈕使承片臺向上移動,針和芯片的焊點接觸,觀看測試儀輸出信號,判斷芯片是否合格。(3)有不合格的芯片單元時,右手按動手柄上部的按鈕,打點器打點在該芯片單元上,合格的不用打點。然后,逆時旋轉左側上部旋鈕承片臺下移。進入下一個芯片單元的測試 。如果芯片圖形位置不垂直,轉動左手下部手輪調直,如此往復,完成整個芯片單元的測試。
本機也可測試單個或多個芯片。
3、測試完成
(1)將測試后的芯片從承片臺上取下。
(2)安裝下一個要測試的芯片,如芯片單元圖形與上一次測試的相同,不用動針的位置。繼續測試。如不同要重新校對探針位置后再開始測試。
(3)整個測試完成后,把電源線從220V插座上拔掉,保證安全。
四、注意事項
1、顯微鏡光學鏡頭注意保養,防潮、防震、防塵。
2、承片臺表面不要劃壓。
3、上移承片臺時注意不要讓探針碰到承片臺上,防止探針尖部損壞。
4、打點器墨盒要經常清理,防止堵塞,特別是長時間不用時要清洗掉殘留墨汁。
附件:設備清單
1、探針臺主機------------1套
2、探針架加探針----------6套
3、打點器----------------1套
4、體式顯微鏡------------1套
5、環形燈----------------1個
6、220V-24V開關電源-----1個
7、電源接線--------------1條
8、體式顯微鏡說明書------1頁
9、木質外包裝箱----------1個 探針臺指標:
1 .標準承片臺直徑:φ 110 mm
2. 承片臺移動范圍:φ 110mm ( : x 向 110 mm ; y 向 110 mm )
3 、高度行程為 6mm 。
4 、角度 q : ± 30 度旋轉旋轉。
5 、配真空吸片系統,帶真空泵接頭。
6 、原機配探針架 6 個。
7 、有手動打點功能。
8 、加裝 4 ~ 100 倍體視顯微鏡;其中目鏡 2 個: 10 倍 2 個, 25 倍 2 個; 物鏡 4 倍、 1 個。
9 、具有環形燈照明裝置。
10 、探針架升降范圍: 5 mm
11、探針架托盤直徑: φ 278 mm ;
12 、標準探針:
1 )、 探針材料:φ 1 mm 65 錳鋼絲
2 )、 探針尖小半徑: 20 um 左右
13 、外形尺寸: 580 ′ 445 、高: 470
14 、重量: 約 10 公斤