真空泵是提過濾效率、加強脫氣效果的重要過濾配套設備。為保障過濾介質不被污染，般均使用無油隔膜式真空泵。此類泵型的真空壓力般在0.08Mpa左右（單）。提過濾速度關鍵是單位時間內的排氣量，即真空泵的流量標，在過濾量大、介質粘度時顆粒堵塞濾膜情況下尤顯突出。 真空泵的使用壽命，除取決于正確的使用方法外（如減少人為的連續開機，防止溶劑抽入泵體等），主要還在于電機率合理和真空膜的設計形式及抗疲勞性。
