兩探針電阻率測試儀

產品簡介

       兩探針電阻率測試儀（以下簡稱兩探針儀）是按照我國標準儀器采用GB/T 1551-1995硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法及美國材料與試驗協會（ASTM）推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法”設計。它適用于測量橫截面積均勻的圓形、方形、或矩形單晶錠的電阻率。由于兩探針法的測量電流是從長棒兩端進出，遠離電壓測量探針，因此電流流過金屬與半導體接觸處產生的許多副效應（如珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等），對測量的影響較小，因此兩探針法的測量精度一般優于四探針法。特別是對多晶材料的測量，由于多晶晶粒間界處，雜質局部偏析可能導致電阻率較大變化，這種影響對四探針法更為嚴重，故不推薦用四探針法測量多晶檢驗棒的電阻率。

      本儀器主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試臺及兩探針頭組成。儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表（以萬分之幾的精度）適時監測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩定。本機配有恒流開關，在測量某些材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，更好地保護被測材料。儀器配置了本公司的產品：“小游移探針頭”，間距為1.59mm的兩探針頭探針游移率在0.2%以下。保證了儀器測量電阻率的重復性的準確度。本機可配用KDY測量系統，設計語言為VC++，可對四探針、兩探針電阻率測量數據進行處理并修正測量數據，特定數據存儲格式，顯示變化曲線、正反向電阻率平均值、電阻率的值、電阻率小值，給測量帶來很大方便。兼容性：適用于通用電腦，支持Windows XP、Vista。

      測試儀主機由主機板、電源板、前面板、 后背板、機箱組成。電壓表、電流表、電流調節電位器、恒流源開關及各種選擇開關均裝在前面面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關、兩探針頭及電極引線連接插座、數據處理器連接插座及保險管。機箱底座上安裝了主機反電源板，相互間均通過接插件聯接。

 

主機技術參數

（1）測量范圍：

     可測硅晶體電阻率：0.001-10000Ω·cm

     可測硅棒尺寸：長度300mm；直徑20mm（均可按用戶要求更改）。

（2）恒流源：

     輸出電流：DC0.001-100mA  五檔連續可調

     量程： 0.001-0.01mA（1-10μA）

               0.01-0.1mA（10-100μA）

               0.1-1.0mA 

               1.0-10mA

               10-100mA

      恒流精度：各檔均優于±0.05%

（3）直流數字電壓表：

     測量范圍：0-199.99mV

     靈敏度：10μA

     基本誤差：±（0.004%讀數±0.01%滿度）

     輸入阻抗：≥0.3%

（4）電阻測量誤差：≤0.3%

（5）兩探針頭：KDT-9

     探針間距：1.59±0.01mm   探針直徑Φ0.8mm

     游移率：＜0.2%           探針材料：硬質合金（WC）

     探針壓力：3±1N/單針

（6）供電電源：

     AC   220V   ±10%    50/60   Hz.   功率：12W

（7）使用環境：

     溫度：23±2℃   相對溫度：≤65%

     無較強的電場干擾，無強光直接照射。

（8）重量、體積：