皮米精度位移激光干涉器 - attoFPSensor
attocube公司生產的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分滿足了高分辨位移與定位的工業和科研需要，其緊湊的設計和穩定性可以在端環境中使用，在大的位移測量范圍內，達到25pm的位移分辨率和10MHz的采樣速率，應用范圍遍及閉環掃描器校準、樣品或模塊位移、加工業、引擎位移探測等領域。
| + 簡單易用，attoFPSensor自動軟件控制與校準 + 測量速度快，attoFPSensor定位樣品采樣帶寬10MHz，分辨率25pm + 實時數據采集界面，attoFPSensor利用Ethernet或HSSL實現定位數據的實時輸出 + 多軸同時測量，attoFPSensor配有立的三軸定位器，允許同時位移測量、數據處理、和定位輸出 + 度高，attoFPSensor鎖定分子吸附頻率做參考值，得到的定位信息具有測量學意義 + 上小體積的位移測量干涉器，15mm直徑和12mm長 |
| 長時間使用仍可保持picometer穩定度和精度 | 探測目標振動簡單可靠 |
attoFPSensor具有高的信號穩定性，如上圖時間與位移變化的關系所示： 在20mm工作距離下，其2δ為0.286nm 在70mm工作距離下，其2δ為0.530nm； 在120mm工作距離下，其2δ為1.035nm |
attoFPSensor不僅是功能強大的實時位移探測設備，而且它還是一個振動器。上圖是測量attocube位移器ANPxyz得到的結果。 |
| attoFPSensor技術特點 | attoFPSensor特優勢 |
+ 多維度位移干涉器 + 完備的系統配置 + 實時數字化界面 + 高速FPGA控制單元 + 10MHz采樣速率 + 大1m/s樣品位移速率，可選配更快速率 + 基于單模光纖的探測器 + 兼容真空與端環境 | + 高帶寬位移探測 + 閉環位移控制 + MHz范圍內的振動測量 + 目標樣品熱負載<75uW + 探測器無需進行電子器件鏈接 + 工業化設計 + 其可靠與穩定 |
激光探頭技術參數表
FPS系列激光干涉儀可提供不同型號探頭（探頭尺寸，光斑大小不同）。
探頭直徑范圍：1.2mm – 22mm。典型準直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。
低工作溫度：10mK, 1E-10mBar超高真空適用, 10MGy強輻射環境適用。
| 激光探頭 | 型號 | 尺寸mm (直徑與長) | 工作距離 (低反射，高反射材料） | 激光類型 （聚焦、準直） | 光斑大小 |
D1.2/F7 | ? 1.2; 7.5 | 5-9 mm 30-45 mm | 聚焦， 焦距7mm | 70μm@7mm | |
| D4/F8 | ? 4; 11.5 | 6-10 mm 15-30 mm | 聚焦， 焦距8mm | 70μm@8mm | |
| D4/F13 | ? 4; 11.5 | 11-15 mm 30-45 mm | 聚焦， 焦距13mm | 70μm@13mm | |
| D12/F2.8 | ? 12; 32.3 | 2.8 mm | 聚焦， 焦距2.8mm | 2μm@2.8mm | |
| M12/C1.6 | ? 14; 17.4 | 0-1000 mm | 準直 | 1.6mm | |
| M15.5/C1.6 | ? 22; 20.6 | 0-1000 mm | 準直 | 1.6mm | |
| M12/C7.6 | ? 14; 49.3 | 0-5000 mm | 準直 | 7.6mm |
