3F/EPIC 自由基分析質譜

       EPIC/3F 三級過濾四極質譜(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)用于高精密科學分析、過程研究，以及中性粒子、自由基、離子的UHV 分析。

應用：

    · 中性粒子、自由基，正、負離子分析
    · 電子附著研究
    · 表面科學，分子束研究
    · 超高真空程序升溫脫附（UHV－TPD）  
    · 高性能殘余氣體分析
    · 脫附、除氣作用研究
    · 容器、過程氣體污染物分析

特點：

    · 靈敏度高，檢測范圍從 至 5ppb.
    · 質量數至 2500 amu, 6、9、12 mm 直徑的四極桿可選.
    · 加強的長期穩定性(24h以上，峰高變化小于±0.5% )
    · 通過 ±100 V（1000 eV 可選）中軸電勢掃描可知離子能量分布
    · 離子源控制，以實現軟離子化及表觀電勢質譜
    · 靈敏度增強利于質量數較大的離子的傳輸；自動質量數范圍列表
    · 脈沖離子計數器，連續7個數量級動態范圍，Faraday 選項為5x10¹⁰
    · 一級過濾處增加射頻，增強抗污染物能力
    · 當分析能量（或質量）分布變化與時間的關系，或進行TOF研究時，
       信號選通分辨率為 1µs 
    · 操作升溫脫附時，溫度亦可同步顯示
    · 標配 UHV 罩, 液氮冷卻罩可選
    · 軟件 MASsoft 控制.
    · 可升級至等離子體 / SIMS 配置