摘要:本實用新型公開了一種無母籃清洗機,包括機架、安裝于機架上的清洗槽和機械手,所述機械手的懸臂位于清洗槽的上方,在懸臂上滑動支承有兩運動方向相反的抓取鉤座,各抓取鉤座均固定設置有硅片籃抓取鉤,所述清洗槽內設置有硅片籃托盤。該無母籃清洗機不僅可以在每一工位同時進行數個硅片籃的清洗,具有較高的生產效率,而且無需清洗母籃,減少用工,降低使用成本。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海思恩電子技術(東臺)有限公司;
- 發明人倪加樂;滕明;陳玉華;陳蒙;
- 地址224200 江蘇省鹽城市東臺市城東新區東進大道48號
- 申請號CN201420010717.X
- 申請時間2014年01月09日
- 申請公布號CN203664250U
- 申請公布時間2014年06月25日
- 分類號B08B3/04(2006.01)I;B25J9/00(2006.01)I;B25J9/10(2006.01)I;B25J19/00(2006.01)I;