摘要:直驅式納米級精密定位平臺,它涉及微納米定位領域,具體涉及一種直驅式納米級精密定位平臺。本實用新型為解決目前微納米定位領域壓電陶瓷直接連驅動結構器件增大壓電陶瓷的損壞幾率的問題。所述微動臺包括臺體、頂絲、頂塊、封裝式壓電陶瓷、螺釘、柔性鉸鏈和移動板,臺體內開有凹槽,封裝式壓電陶瓷裝在凹槽內,封裝式壓電陶瓷的底座部通過螺釘與臺體固定,封裝式壓電陶瓷的移動端外部套裝頂塊,封裝式壓電陶瓷的移動端及頂塊的一端頂靠在柔性鉸鏈上,頂絲穿過頂塊頂靠在封裝式壓電陶瓷的移動端上,柔性鉸鏈圍成為長方形嵌在臺體內,移動板設在柔性鉸鏈上且二者制成一體。本實用新型用于微納米級精密運動及控制領域。
- 專利類型實用新型
- 申請人哈爾濱芯明天科技有限公司;
- 發明人陳峰;鄧恩坤;
- 地址150080 黑龍江省哈爾濱市南崗區漢廣街41號
- 申請號CN201220411967.5
- 申請時間2012年08月20日
- 申請公布號CN202695554U
- 申請公布時間2013年01月23日
- 分類號H01L41/09(2006.01)I;