摘要:發明提供一種瀝青拋光盤,通過在瀝青中添加絨毛組分,不僅能夠帶動拋光物料顆粒的相對運動,增加拋光物料的運動軌跡,從而提高拋光速率,同時還能把拋光過程中電子元件表面產生的磨屑帶出,具有排屑的作用;通過在瀝青中添加白炭黑,可起到納米顆粒的作用,有效提高彈性模量性能,并能夠把持住其他拋光物料,進一步,在瀝青、蠟、絨毛和白炭黑特定組分含量的協同作用下,有效提高成型后瀝青拋光盤的強度和韌性,使不易變形,從而本發明所述瀝青拋光盤的表面穩定性高,用于加工電子元件時,能夠有效提高光學元件的表面平整度和拋光精度,拋光速度快。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京國瑞升科技股份有限公司;
- 發明人苑亞斐;
- 地址100085 北京市海淀區上地信息路12號1號樓C402、C406室
- 申請號CN201410678031.2
- 申請時間2014年11月21日
- 申請公布號CN105602454A
- 申請公布時間2016年05月25日
- 分類號C09G1/02(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I;B24B13/01(2006.01)I;