摘要：本發明提供一種能夠提高連接于進氣通路和排氣通路的配管的配置的自由度并謀求提高進氣側止回閥和排氣側止回閥的組裝性的隔膜真空泵。進氣側止回閥和排氣側止回閥分別由將閥芯(32f)收納于殼構件(32a)而成的閥單元(32)形成。進氣通路和排氣通路均由在基端部設有大徑安裝部(31a)的噴嘴(31)形成，在大徑安裝部(31a)的基端部設有用于收納閥單元(32)的收納部(31b)。通過將閥單元(32)收納于收納部(31b)且將大徑安裝部(31a)分別插入到形成于泵室的插入孔中、并將壓板(34)跨著大徑安裝部(31a)的外表面和泵室的頂壁的外表面地安裝，從而將進氣通路和排氣通路固定于泵室。
- 專利類型發明專利
- 申請人東京理化器械株式會社;
- 發明人有賀真一;
- 地址日本東京都
- 申請號CN201410592161.4
- 申請時間2014年10月29日
- 申請公布號CN104976102A
- 申請公布時間2015年10月14日
- 分類號F04B39/12(2006.01)I;F04B39/10(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
