摘要：本發明為一種半導體晶片的高速熒光光譜檢測裝置，涉及半導體晶片檢測裝置，主要包括機架（1）、半導體晶片運動機構（2）、激光發生裝置（3）、光路收集系統（4）、光譜儀（5）、面陣CCD相機（6）、控制計算機（7），其中，半導體晶片運動機構（2）、激光發生裝置（3）、光路收集系統（4）和光譜儀（5）均固定在機架（1）上端，半導體晶片運動機構（2）固定在機架（1）下端，所述的半導體晶片運動機構（2）、激光發生裝置（3）、光路收集系統（4）、光譜儀（5）、面陣CCD相機（6），在使用時在暗室（8）內。本發明的檢測裝置的優點是既能實現高速掃描半導體晶片，又可獲得半導體晶片的熒光光譜形狀、強度、峰值波長、半高寬等豐富信息。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京中拓機械集團有限責任公司;
- 發明人徐杰;郭金源;
- 地址102208 北京市昌平區科技園區華通路11號
- 申請號CN201510034852.7
- 申請時間2015年01月24日
- 申請公布號CN104568893A
- 申請公布時間2015年04月29日
- 分類號G01N21/64(2006.01)I;
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