摘要：本發明的目的是提供一種同時具備高速率、高分辨率、高驅動力的雙模超聲波線性馬達。其基本原理是在壓電陶瓷驅動器的振動和摩擦下利用慣性實現線性移動，將超聲波振動能量變換成物體的平動動能。本發明所提出的雙模超聲波線性馬達的創新之處是將高速率和高精度這兩個傳統上不能兼容的指標在同一設備上實現。該馬達不僅能以mm/s的高速率模式運行，還能以分辨率為納米量級的高精度模式運行。同時，該馬達還能工作在極低溫、超高真空、強磁場等極端條件下，具有行程大，負載高的優點。
- 專利類型發明專利
- 申請人森泉(上海)光電科技有限公司;
- 發明人殷立峰;黃少華;姜炎;
- 地址200433 上海市楊浦區國定路335號1號樓6003室
- 申請號CN201210215562.9
- 申請時間2012年06月27日
- 申請公布號CN103516252A
- 申請公布時間2014年01月15日
- 分類號H02N2/02(2006.01)I;H02N2/06(2006.01)I;
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