摘要：本發明提供一種用于刻蝕觸摸屏上不可視區域導電薄膜的裝置及方法，高頻率短脈沖激光器的輸出端布置有光閘，光閘的輸出端設置有擴束鏡，擴束鏡的輸出端依次布置有45度全反射鏡，45度全反射鏡的輸出端依次布置有動態聚焦鏡和掃描場鏡，掃描場鏡正對于工作平臺，工作平臺的一側安裝有吹氣裝置，工作平臺的另一側安裝有集塵裝置。采用優化的光路聚焦系統和高頻率的脈沖激光器，對不可視區域導電薄膜材料進行蝕刻，得到較細較穩定的線寬，且不損傷基底。
- 專利類型發明專利
- 申請人蘇州德龍激光有限公司;江陰德力激光設備有限公司;
- 發明人趙裕興;狄建科;張偉;
- 地址215021 江蘇省蘇州市工業園區蘇虹中路77號
- 申請號CN201110128553.1
- 申請時間2011年05月18日
- 申請公布號CN102218608A
- 申請公布時間2011年10月19日
- 分類號B23K26/40(2006.01)I;
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