摘要：本發明公開了一種氣體體積流量測量裝置，包括壓力傳感器、注射泵和微處理器；待測氣體通過氣體管路一方面作用于壓力傳感器，另一方面連接所述的注射泵；所述壓力傳感器將待測氣體的壓力與初始壓力進行比較，進而生成壓差信號輸出至所述的微處理器；所述微處理器根據壓差大小生成相應的控制信號驅動注射泵以相應的速度抽氣，直到壓差為零；在此過程中，注射泵將抽氣時所產生的位移編碼信號傳輸至所述的微處理器，所述微處理器根據位移編碼、注射泵的注射器容積以及抽氣時間計算出待測氣體的流量。本發明的氣體體積流量測量裝置靈敏度高，流量測量范圍寬，可靠性強，對于微流量氣體體積流量的測量具有獨特的優勢。
- 專利類型發明專利
- 申請人青島嶗山應用技術研究所;
- 發明人何春雷;陳光成;謝傳欣;崔啟利;
- 地址266100山東省青島市李滄區福島路195號
- 申請號CN200810249574.7
- 申請時間2008年12月26日
- 申請公布號CN101435712A
- 申請公布時間2009年05月20日
- 分類號G01F22/02(2006.01)I;
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