摘要:一種內調制型鐵電非制冷紅外焦平面探測器,由鐵電列陣1、量子阱調制器2、讀出電路3和半導體熱電恒溫器4組成,各部分都為平面結構,通過粘接和互連工藝集成為一個整體;本發明減少了電極數量,增大了器件的填充因子,有利于縮小探測元間距;減少了光能損失,提高了器件的歸一化探測率,有利于提高器件作用距離的熱靈敏度;器件幀頻由原來的熱學結構控制變成人為控制,大大提高了器件的幀頻,有利于器件在高幀頻情況下的應用;去掉了器件的熱隔離微橋結構,簡化了制作工藝;增加了器件的調制功能,省去了外部的斬波器,降低了整機開發難度。
- 專利類型發明專利
- 申請人云南民族大學;
- 發明人鄧芳軼;吳新社;蔡毅;王紅斌;王銳;
- 地址650031 云南省昆明市五華區一二一大街134號
- 申請號CN200710066481.6
- 申請時間2007年12月21日
- 申請公布號CN101201271B
- 申請公布時間2010年05月26日
- 分類號G01J5/12(2006.01)I;H01L27/16(2006.01)I;H01L23/38(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;