摘要：本發明公開了一種光學相位延遲精密測量方法及其系統，本發明的系統包括激光器、起偏器、光調制器、調制信號源、待測相位延遲器、相位補償器、檢偏器、光探測器、結果輸出單元，本發明的方法通過在光路中加入光調制器對檢測偏振光進行光調制，產生調制偏振光，結果顯示單元對接收信號濾波處理后實現將直流零點的測量轉換交流零點的測量，從而準確判斷極值點位置，提高了測量精度。本發明測量簡單方便，結果準確可靠，精度可達到λ/300，適用于波片等光學延遲器件的生產和銷售部門對產品的檢驗。
- 專利類型發明專利
- 申請人大恒新紀元科技股份有限公司北京光電技術研究所;
- 發明人宋菲君;范玲;俞蕾;韓永剛;林海晏;宋建力;姚思一;
- 地址100085北京市海淀區上地信息路甲9號3號樓2層
- 申請號CN200710178950.3
- 申請時間2007年12月07日
- 申請公布號CN101183043A
- 申請公布時間2008年05月21日
- 分類號G01M11/02(2006.01);
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